MSK-PSP-FE2020閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計，設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件，在真空條件下液體沸點降低，加快溶劑揮發(fā)，有利于鈣鈦礦薄膜的形成。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該設(shè)備適合實驗室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。

產(chǎn)品型號：MSK-PSP-FE2020

更新時間：2025-02-18

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PRODUCT CLASSIFICATION

鈣鈦礦

成膜結(jié)晶設(shè)備加熱臺磁控濺射儀

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產(chǎn)品介紹

MSK-PSP-FE2020閃蒸成膜儀是一款輔助成膜結(jié)晶設(shè)備。本設(shè)備主要針對于溶液法制備鈣鈦礦薄膜工藝所設(shè)計，設(shè)備可以創(chuàng)造真空條件，在真空條件下液體沸點降低，加快溶劑揮發(fā)，有利于鈣鈦礦薄膜的形成。經(jīng)閃蒸處理后的薄膜結(jié)晶致密均勻。該設(shè)備適合實驗室及科研單位對鈣鈦礦薄膜研制使用。

功能特點

真空管道設(shè)計，抽取真空時氣流平穩(wěn)；
大功率真空泵，抽取真空速度快；
內(nèi)置真空壓力測量傳感器，可控制保壓時真空壓力；
程序控制保壓壓力與時間，可自動泄壓；
配備手動調(diào)節(jié)進氣閥，可控制進氣時氣流大小，并可接氮氣減壓；
上蓋配備玻璃視窗，可觀察成膜過程；
可更換抽氣口方向，可選擇側(cè)面或后面（根據(jù)實際需求選擇，默認(rèn)側(cè)面）。

技術(shù)參數(shù)
電源	設(shè)備本體：單相AC220V±10%，頻率50Hz，功率約200W 真空泵：三相五線制AC380V±10%，頻率50Hz，功率約2.2KW
極限壓力	≤5x10^-1Pa
適應(yīng)基材尺寸	Max L200mmxW200mmxH10mm
設(shè)備本體尺寸	約L420mmXW420mmXH350mm
真空泵尺寸	約L350mmXW900mmXH500mm
設(shè)備本體重量	約50KG
真空泵重量	約91KG